X射線(xiàn)納米CT測試服務(wù)

時間：2024-03-18 熱度：403

X射線(xiàn)納米CT測試服務(wù)

型号：ZEISS Xradia 800 Ultra

參數與指标：

1. 高低分(fēn)辨率

高分(fēn)辨：50nm空間分(fēn)辨率，

低分(fēn)辨：150nm空間分(fēn)辨率

2.視場範圍

65um@150nm

16um@50nm

可(kě)測試樣品種類：

鎳合金、钛合金、鎂合金、鋁合金、鋼鐵材料及其金屬間化合物(wù)等多(duō)數金屬材料，陶瓷、碳材料、高分(fēn)子材料、電(diàn)池材料、無機非金屬材料以及生物(wù)軟組織等固體(tǐ)樣品

1 X射線(xiàn)納米CT的成像方法

X射線(xiàn)納米CT是X射線(xiàn)顯微鏡和傳統CT的結合。

利用(yòng)X射線(xiàn)透鏡将納米尺寸的結構信息放大到微米尺寸，用(yòng)微米尺寸像素的探測器采集投影數據。

X射線(xiàn)顯微鏡：

X射線(xiàn)顯微鏡是光學(xué)顯微鏡在X射線(xiàn)波段的推廣

波帶片：

波帶片将一個凸球面波變換為(wèi)一個凹球面波。

2 X射線(xiàn)納米CT獲得放大投影的條件

樣品厚度小(xiǎo)于透鏡焦深，球面波不是聚焦成一個幾何點，二是聚焦成半徑為(wèi)δ的焦斑，形成焦深，焦深長(cháng)度為(wèi)：

愛裏斑半徑：δ=0.61λ/θ

焦深長(cháng)度：L=2δ/tanθ≈2δ/sinθ≈2δ/θ=2δ/（0.61λ/θ ）=3.28δ²/λ

3 X射線(xiàn)納米CT獲取放大投影的原理(lǐ)

多(duō)個球面波在焦深處，形成多(duō)條焦深平行細光束；當樣品直徑小(xiǎo)于焦深，就可(kě)以在像面獲得樣品放大投影像；用(yòng)CCD記錄含有(yǒu)納米尺寸信息的放大投影像。

4 X射線(xiàn)納米CT成像過程

利用(yòng)橢球鏡會聚X射線(xiàn)光源發出的X光束，形成空心光錐照射在樣品上；波帶片将樣品放大成像在X射線(xiàn)CCD上，把納米尺寸的信息放大為(wèi)微米尺寸，CCD可(kě)以記錄放大的樣品像；納米精(jīng)密轉台逐步旋轉，CCD逐幅采集放大像，就可(kě)進行幾十納米分(fēn)辨的CT成像。